一种避免硅片边缘薄膜剥离的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510305037.X

申请日：

2015-06-04

公开(公告)号：

CN104867826A

公开(公告)日：

2015-08-26

发明(设计)人：

徐强张高升严萍李广济

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2131

IPC分类号：

H01L2120

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

吴俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-26	公开	公开
2015-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101626827471 IPC(主分类):H01L 21/31 专利申请号:201510305037X 申请日:20150604
2018-09-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/31 申请公布日:20150826

共 50 条

[1]

一种硅片边缘剥离方法及硅片 [P].

衡鹏 ;

徐鹏 ;

文英熙 .

中国专利 :CN111540676A ,2020-08-14

[2]

一种硅片边缘剥离方法及硅片 [P].

衡鹏 ;

徐鹏 ;

文英熙 .

中国专利 :CN111540676B ,2024-02-23

[3]

一种硅片边缘剥离机 [P].

马胜南 .

中国专利 :CN216354070U ,2022-04-19

[4]

一种避免超薄硅片边缘破损的加工方法 [P].

杨凡力 .

中国专利 :CN104241094A ,2014-12-24

[5]

一种硅片边缘高效剥离设备及方法 [P].

孙新利 ;

马俊 ;

尹春 ;

施伟杰 .

中国专利 :CN119601511B ,2025-04-15

[6]

一种硅片边缘高效剥离设备及方法 [P].

孙新利 ;

马俊 ;

尹春 ;

施伟杰 .

中国专利 :CN119601511A ,2025-03-11

[7]

一种改善背封硅片边缘质量的方法 [P].

刘佐星 ;

刘斌 ;

肖清华 ;

冯泉林 ;

李宗峰 ;

陈赫 ;

程凤伶 ;

鲁进军 ;

刘俊 ;

李俊峰 ;

卢立延 ;

孙媛 ;

石宇 .

中国专利 :CN106914802A ,2017-07-04

[8]

一种硅片边缘标识方法 [P].

伍强 ;

方精训 .

中国专利 :CN1988122A ,2007-06-27

[9]

一种改善硅片边缘抛光质量的方法 [P].

宋同景 ;

路一辰 ;

赵新新 ;

钟耕杭 ;

李磊 ;

张清洋 ;

肖清华 ;

闫志瑞 .

中国专利 :CN118866655A ,2024-10-29

[10]

一种改善硅片边缘翘曲的方法 [P].

卢运增 ;

贺贤汉 ;

洪漪 ;

丁晓建 .

中国专利 :CN111872780B ,2020-11-03

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