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一种硅片边缘高效剥离设备及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510144680.2
申请日：
2025-02-10
公开(公告)号：
CN119601511A
公开(公告)日：
2025-03-11
发明(设计)人：
孙新利
马俊
尹春
施伟杰
申请人：
浙江中晶新材料研究有限公司
申请人地址：
313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路69号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/311
代理机构：
杭州西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33325
代理人：
韩燕燕
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省
湖州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-15 | 授权 | 授权 |
| 2025-03-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250210 |