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一种硅片边缘剥离方法及硅片
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010392779.1
申请日：
2020-05-11
公开(公告)号：
CN111540676B
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
衡鹏
徐鹏
文英熙
申请人：
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址：
710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
H01L21/306
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
许静;胡影
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-23 | 授权 | 授权 |