制备氮化钛层的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN96101302.8

申请日：

1996-01-19

公开(公告)号：

CN1057799C

公开(公告)日：

1996-10-23

发明(设计)人：

金鼎泰黄成辅

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1656

IPC分类号：

C23C1634

代理机构：

柳沈知识产权律师事务所

代理人：

马涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-10-25	授权	授权
1996-12-11	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1997-01-29	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1996-10-23	公开	公开
2015-03-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101601604338 IPC(主分类):C23C 16/56 专利号:ZL961013028 申请日:19960119 授权公告日:20001025 终止日期:20140119

共 50 条

[1]

形成氮化钛层的方法 [P].

布伦达·D·克劳斯 ;

尤金·P·马什 .

中国专利 :CN101228617B ,2011-02-09

[2]

氮化钛薄膜的制备方法 [P].

樊慧庆 ;

董广志 ;

朱养妮 ;

江新标 .

中国专利 :CN104928656A ,2015-09-23

[3]

球形氮化钛的制备方法 [P].

赖奇 ;

廖先杰 ;

张树立 .

中国专利 :CN108163821B ,2018-06-15

[4]

钛和氮化钛的叠层的刻蚀压力确定方法 [P].

何鹏飞 ;

杨啸 .

中国专利 :CN119943702A ,2025-05-06

[5]

氮化钛的制备方法 [P].

赵三超 .

中国专利 :CN107804830A ,2018-03-16

[6]

制备氮化钛的方法 [P].

朱福兴 ;

穆天柱 ;

邓斌 ;

何安西 ;

程晓哲 ;

马尚润 ;

陈兵 ;

郑权 ;

张瑶 .

中国专利 :CN104498982A ,2015-04-08

[7]

一种氮化钛薄膜的制备方法和氮化钛薄膜 [P].

明帅强 ;

张亦哲 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120967326A ,2025-11-18

[8]

氮化钛或氮化铝钛膜层的退除液及制备方法和退除方法 [P].

付新广 ;

王战东 ;

刘娟梅 ;

孙勇强 ;

张浩 .

中国专利 :CN109594088A ,2019-04-09

[9]

氮化钛薄膜沉积方法 [P].

高晓丽 ;

丁培军 ;

王厚工 ;

刘菲菲 ;

宋海洋 .

中国专利 :CN110965023A ,2020-04-07

[10]

氮化钛层的制造方法及其装置 [P].

徐锦添 .

中国专利 :CN101333641A ,2008-12-31

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