晶圆处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120152540.3

申请日：

2011-05-13

公开(公告)号：

CN202090077U

公开(公告)日：

2011-12-28

发明(设计)人：

吴燕

申请人：

申请人地址：

215011 江苏省苏州市苏州新区滨河路1088号金河雅苑1-608

IPC主分类号：

C25D712

IPC分类号：

C25D500 C25D508 C25D1708 C25D2110

代理机构：

上海开祺知识产权代理有限公司 31114

代理人：

竺明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-28	授权	授权
2014-07-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101583404410 IPC(主分类):C25D 7/12 专利号:ZL2011201525403 申请日:20110513 授权公告日:20111228 终止日期:20130513

共 50 条

[1]

晶圆处理装置 [P].

喻泽锋 ;

周冬成 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674080U ,2019-03-29

[2]

晶圆处理装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN204407300U ,2015-06-17

[3]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN210837676U ,2020-06-23

[4]

晶圆处理装置 [P].

杨士逸 .

中国专利 :CN221480065U ,2024-08-06

[5]

晶圆处理装置 [P].

梁倪萍 ;

陈伏宏 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207558768U ,2018-06-29

[6]

晶圆处理装置 [P].

董佳仁 .

中国专利 :CN210607197U ,2020-05-22

[7]

晶圆处理装置 [P].

施荣荣 ;

汪海亮 ;

刘路 .

中国专利 :CN212230399U ,2020-12-25

[8]

晶圆处理装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848874U ,2019-05-10

[9]

晶圆处理装置 [P].

王昕昀 ;

曹紫然 ;

贾中宇 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209496845U ,2019-10-15

[10]

晶圆处理装置 [P].

周亚勇 ;

盖晨光 ;

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208271840U ,2018-12-21

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