晶圆处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021396888.2

申请日：

2020-07-15

公开(公告)号：

CN212230399U

公开(公告)日：

2020-12-25

发明(设计)人：

施荣荣汪海亮刘路

申请人：

申请人地址：

201821 上海市嘉定区普惠路200号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆处理设备及晶圆处理装置 [P].

杨抗 .

中国专利 :CN210837676U ,2020-06-23

[2]

晶圆处理装置 [P].

杨士逸 .

中国专利 :CN221480065U ,2024-08-06

[3]

晶圆处理装置 [P].

梁倪萍 ;

陈伏宏 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207558768U ,2018-06-29

[4]

晶圆处理装置 [P].

董佳仁 .

中国专利 :CN210607197U ,2020-05-22

[5]

晶圆处理装置 [P].

潘东林 ;

高英哲 ;

张文福 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848874U ,2019-05-10

[6]

晶圆处理装置 [P].

王昕昀 ;

曹紫然 ;

贾中宇 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209496845U ,2019-10-15

[7]

晶圆处理装置 [P].

吴燕 .

中国专利 :CN202090077U ,2011-12-28

[8]

晶圆处理装置 [P].

周亚勇 ;

盖晨光 ;

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208271840U ,2018-12-21

[9]

晶圆处理装置 [P].

王振荣 ;

刘红兵 ;

陈概礼 .

中国专利 :CN202487545U ,2012-10-10

[10]

晶圆处理装置 [P].

喻泽锋 ;

周冬成 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208674080U ,2019-03-29

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