用于栅极图案化的合并光刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480063290.2

申请日：

2014-10-24

公开(公告)号：

CN105745747A

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

S·S·宋 Z·王 C·F·耶普

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L218234

IPC分类号：

G03F720 H01L2702

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

袁逸

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101672624217 IPC(主分类):H01L 21/8234 专利申请号:2014800632902 申请日:20141024
2019-02-12	授权	授权
2016-07-06	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻工艺及用于执行光刻工艺的系统 [P].

游秋山 .

中国专利 :CN107546111B ,2018-01-05

[2]

光刻工艺 [P].

李永尧 ;

王盈盈 ;

刘恒信 ;

林进祥 .

中国专利 :CN103543611B ,2014-01-29

[3]

用于光刻工艺的模拟方法 [P].

安昌男 ;

金熙范 .

中国专利 :CN1187688A ,1998-07-15

[4]

用于光刻工艺的辅助部件 [P].

黄道旻 ;

陈嘉仁 ;

李信昌 ;

石志聪 ;

游信胜 ;

陈政宏 ;

严涛南 .

中国专利 :CN105319832A ,2016-02-10

[5]

用于光刻工艺的辅助部件 [P].

黄道旻 ;

陈嘉仁 ;

李信昌 ;

石志聪 ;

游信胜 ;

陈政宏 ;

严涛南 .

中国专利 :CN111948897A ,2020-11-17

[6]

光刻工艺方法 [P].

官锡俊 .

中国专利 :CN110767540A ,2020-02-07

[7]

光刻工艺方法 [P].

冷国庆 ;

邢会锋 ;

尹静娟 ;

陈倩 .

中国专利 :CN116072519B ,2025-12-09

[8]

光刻工艺方法 [P].

李伟峰 ;

王雷 .

中国专利 :CN105527798A ,2016-04-27

[9]

实现更小线宽的光刻工艺 [P].

张煜 ;

郑海昌 ;

朱骏 .

中国专利 :CN106933064B ,2017-07-07

[10]

光刻工艺方法 [P].

游信胜 ;

余青芳 ;

王文娟 ;

许庭豪 ;

秦圣基 ;

严涛南 .

中国专利 :CN109307989B ,2019-02-05

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