承载环结构及包含该承载环结构的室系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510929329.0

申请日：

2015-12-14

公开(公告)号：

CN105702617A

公开(公告)日：

2016-06-22

发明(设计)人：

伊莱·乔恩尼克·拉伊·小林百格西丽斯·雷迪爱丽丝·霍利斯特隆格蒂瓦·梅塔帕浓

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;李献忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-22	授权	授权
2016-06-22	公开	公开
2016-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101670882108 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2015109293290 申请日:20151214

共 50 条

[1]

蒸镀半导体元件承载环及具有该承载环的承载装置 [P].

周子弘 ;

张谦成 ;

林耀辉 .

中国专利 :CN202695403U ,2013-01-23

[2]

伊莱·乔恩 ;

尼克·拉伊·小林百格 ;

西丽斯·雷迪 ;

爱丽丝·霍利斯特 ;

隆格蒂瓦·梅塔帕浓 .

中国专利 :CN108538778A ,2018-09-14

[3]

黄彦辉 ;

法亚兹·A·谢赫 ;

尼克·拉伊·小林百格 ;

吉沢克规 .

美国专利 :CN309639796S ,2025-11-28

[4]

M.劳奇 ;

F.霍伊尼格 .

中国专利 :CN104220703A ,2014-12-17

[5]

具有承载环的管子夹持结构 [P].

戴维·梅森 ;

阿伯特·P·J·M·德蓬 ;

汉斯·范赖津根 ;

安东·克里南 ;

科内利斯·W·J·德拉特 .

中国专利 :CN1612974A ,2005-05-04

[6]

承载环及应用有该承载环的DC卷筒用鼓形齿式联轴器 [P].

郑安康 ;

徐聚月 .

中国专利 :CN209977087U ,2020-01-21

[7]

具有承载环的CVD反应器或用于基板的承载环 [P].

J·L·霍尔茨瓦尔思 ;

M·科尔伯格 ;

M·穆基诺维奇 ;

S·斯特劳克 .

德国专利 :CN118056033A ,2024-05-17

[8]

具有舌片的承载环 [P].

黄彦辉 ;

法亚兹·A·谢赫 ;

尼克·拉伊·小林百格 ;

吉泽克典 .

美国专利 :CN119173995A ,2024-12-20

[9]

承载环、磨削装置及磨削方法 [P].

西村好信 .

中国专利 :CN108349058B ,2018-07-31

[10]

MOCVD外延设备的承载环、晶片承载装置及MOCVD外延设备 [P].

王涛 ;

夏杨建 ;

陈军 ;

施清行 .

中国专利 :CN120231011A ,2025-07-01

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