蒸镀半导体元件承载环及具有该承载环的承载装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220258032.8
申请日
2012-05-31
公开(公告)号
CN202695403U
公开(公告)日
2013-01-23
发明(设计)人
周子弘 张谦成 林耀辉
申请人
申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区新竹市工业东三路3号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
C23C1424 C23C1450
代理机构
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019
代理人
寿宁;张华辉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体承载系统及半导体承载装置 [P]. 
卢胜杰 ;
王康 .
中国专利 :CN114256123A ,2022-03-29
[2]
半导体承载系统及半导体承载装置 [P]. 
李海卫 ;
张鹏斌 ;
陈鲁 .
中国专利 :CN212648210U ,2021-03-02
[3]
压环、承载装置及半导体加工设备 [P]. 
张璐 .
中国专利 :CN105655281A ,2016-06-08
[4]
半导体承载装置 [P]. 
吴聪 .
中国专利 :CN217134344U ,2022-08-05
[5]
半导体元件承载板 [P]. 
李康海 ;
祁鹏鹏 ;
高光辉 .
中国专利 :CN308764984S ,2024-08-02
[6]
承载环结构及包含该承载环结构的室系统 [P]. 
伊莱·乔恩 ;
尼克·拉伊·小林百格 ;
西丽斯·雷迪 ;
爱丽丝·霍利斯特 ;
隆格蒂瓦·梅塔帕浓 .
中国专利 :CN105702617A ,2016-06-22
[7]
用于承载半导体元件的托盘 [P]. 
刘晓军 .
中国专利 :CN208142146U ,2018-11-23
[8]
承载装置及具有该承载装置的机箱 [P]. 
刘建廷 .
中国专利 :CN217955038U ,2022-12-02
[9]
承载装置及半导体设备 [P]. 
徐鹏帅 .
中国专利 :CN220543874U ,2024-02-27
[10]
一种半导体元件承载结构 [P]. 
郑国 ;
杨正平 .
中国专利 :CN223168432U ,2025-07-29