共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
承载装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321602231.0
申请日：
2023-06-21
公开(公告)号：
CN220543874U
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
徐鹏帅
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726
代理人：
贾晓敏
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-27 | 授权 | 授权 |