蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410018357.2

申请日：

2014-01-16

公开(公告)号：

CN103938162A

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

楠敏明山本健一玉腰武司三宅龙也松浦宏育矢崎秋夫尾方智彦松崎永二

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

C23C1414

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

吕林红

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741215997 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2014100183572 申请公布日:20140723
2014-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584549628 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2014100183572 申请日:20140116
2014-07-23	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[2]

蒸发源装置和蒸镀装置 [P].

风间良秋 ;

近藤喜成 .

中国专利 :CN109913818A ,2019-06-21

[3]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

[4]

蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机 [P].

叶岚凯 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN104109834B ,2014-10-22

[5]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[6]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

峰川英明 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

福田浩 ;

三宅龙也 .

中国专利 :CN102676999A ,2012-09-19

[7]

蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置 [P].

小田敦 ;

小林敏郎 ;

佐藤惠一 ;

北本博子 ;

神川进 ;

和田宏三 .

中国专利 :CN101182627B ,2008-05-21

[8]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN104762601A ,2015-07-08

[9]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 ;

田川 .

中国专利 :CN105112856A ,2015-12-02

[10]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

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