蒸发源装置和蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811070878.7

申请日：

2018-09-14

公开(公告)号：

CN109913818A

公开(公告)日：

2019-06-21

发明(设计)人：

风间良秋近藤喜成

申请人：

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

刘杨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-21	公开	公开
2020-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180914

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[2]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

峰川英明 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

福田浩 ;

三宅龙也 .

中国专利 :CN102676999A ,2012-09-19

[3]

蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源 [P].

楠敏明 ;

山本健一 ;

玉腰武司 ;

三宅龙也 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

尾方智彦 ;

松崎永二 .

中国专利 :CN103938162A ,2014-07-23

[4]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[5]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[6]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[7]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[8]

蒸发源装置及蒸镀机 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN107299321A ,2017-10-27

[9]

蒸镀用的蒸发源装置 [P].

余威 .

中国专利 :CN107267919A ,2017-10-20

[10]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

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