申请人地址:
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
法律状态
| 2008-12-17 |
授权
| 授权 |
| 2006-11-29 |
公开
| 公开 |
| 2007-01-24 |
实质审查的生效
| 实质审查的生效 |
共 50 条
[5]
半导体基底
[P].
中国专利 :CN202513135U ,2012-10-31 [9]
包括聚焦环的半导体基底处理设备
[P].
宣钟宇
论文数: 0 引用数: 0
h-index: 0
机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
宣钟宇
;
宋仁哲
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
宋仁哲
;
尹洪珉
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
尹洪珉
;
林智贤
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
林智贤
;
友安昌幸
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
友安昌幸
;
韩济愚
论文数: 0 引用数: 0
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机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
韩济愚
.
韩国专利 :CN111834189B ,2024-06-04