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集成电路内部电容测试装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120146887.7
申请日：
2011-05-10
公开(公告)号：
CN202057729U
公开(公告)日：
2011-11-30
发明(设计)人：
蒋鹰
董小东
辜芳义
申请人：
申请人地址：
215021 江苏省苏州市苏州工业园区二区沈浒路408号
IPC主分类号：
G01R2726
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
田野
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-28 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G01R 27/26 申请日:20110510 授权公告日:20111130 |
| 2011-11-30 | 授权 | 授权 |