一种金属化学机械抛光浆料及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110424891.X

申请日：

2011-12-16

公开(公告)号：

CN103160207A

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

荆建芬张建蔡鑫元

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼602室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C23F304

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101591395087 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:201110424891X 申请日:20111216
2017-04-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750280098 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:201110424891X 申请公布日:20130619
2013-06-19	公开	公开

共 50 条

[1]

金属化学机械抛光浆料 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

潘依君 .

中国专利 :CN106929858A ,2017-07-07

[2]

一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103866326A ,2014-06-18

[3]

一种化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102093818A ,2011-06-15

[4]

一种化学机械抛光浆料及其应用 [P].

丁纪俊 ;

雷双双 ;

王辰伟 ;

李仕权 .

中国专利 :CN119736632A ,2025-04-01

[5]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN102533118A ,2012-07-04

[6]

一种金属化学机械抛光浆料 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102070989A ,2011-05-25

[7]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102477262A ,2012-05-30

[8]

一种用于金属化学机械抛光的抛光浆料及其用途 [P].

徐春 .

中国专利 :CN101591508A ,2009-12-02

[9]

一种用于金属化学机械抛光的抛光浆料及其用途 [P].

徐春 .

中国专利 :CN101591509B ,2009-12-02

[10]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

汪国豪 ;

宋凯 ;

周文婷 .

中国专利 :CN111378376A ,2020-07-07

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