金属化学机械抛光浆料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511029138.5

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106929858A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

张建荆建芬宋凯蔡鑫元杨俊雅潘依君

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层

IPC主分类号：

C23F306

IPC分类号：

C23F304

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 3/06 申请公布日:20170707
2017-12-26	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23F 3/06 变更事项:申请人变更前:安集微电子科技（上海）有限公司变更后:安集微电子科技（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层变更后:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层
2017-07-07	公开	公开
2018-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 3/06 申请日:20151231

共 50 条

[1]

一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103160207A ,2013-06-19

[2]

一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103866326A ,2014-06-18

[3]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN102533118A ,2012-07-04

[4]

一种金属化学机械抛光浆料 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102070989A ,2011-05-25

[5]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102477262A ,2012-05-30

[6]

锗‑锑‑碲化学机械抛光浆料 [P].

M.斯滕德 ;

G.怀特纳 ;

C.W.南 .

中国专利 :CN104428386B ,2015-03-18

[7]

一种化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102093818A ,2011-06-15

[8]

一种化学机械抛光浆料及其应用 [P].

丁纪俊 ;

雷双双 ;

王辰伟 ;

李仕权 .

中国专利 :CN119736632A ,2025-04-01

[9]

铜的化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 ;

顾元 ;

徐春 ;

宋鹰 .

中国专利 :CN1955239A ,2007-05-02

[10]

一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用 [P].

梁珂 ;

徐锋 ;

王宏宇 ;

殷华 .

中国专利 :CN119162578B ,2025-06-20

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