铜的化学机械抛光浆料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510030870.4

申请日：

2005-10-28

公开(公告)号：

CN1955239A

公开(公告)日：

2007-05-02

发明(设计)人：

荆建芬宋伟红顾元徐春宋鹰

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5楼613－618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C08J514

代理机构：

上海虹桥正瀚律师事务所

代理人：

李佳铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-05-02	公开	公开
2013-09-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101656467365 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2005100308704 申请公布日:20070502

共 50 条

[1]

用于阻挡层的化学机械抛光浆料 [P].

宋伟红 ;

荆建芬 ;

顾元 ;

徐春 ;

宋鹰 .

中国专利 :CN1955212B ,2007-05-02

[2]

一种化学机械抛光浆料的应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

姚颖 .

中国专利 :CN103074632A ,2013-05-01

[3]

钽阻挡层用化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 ;

顾元 ;

徐春 ;

宋鹰 .

中国专利 :CN1955248A ,2007-05-02

[4]

金属化学机械抛光浆料 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

潘依君 .

中国专利 :CN106929858A ,2017-07-07

[5]

化学机械抛光用浆料 [P].

崔银美 ;

申东穆 ;

曹升范 .

中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11

[6]

一种金属化学机械抛光浆料 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102070989A ,2011-05-25

[7]

用于铜基材的化学机械抛光浆料 [P].

弗拉斯塔·B·考夫曼 ;

罗德尼·C·基斯特勒 ;

王淑敏 .

中国专利 :CN1301288A ,2001-06-27

[8]

用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料 [P].

弗拉斯塔·B·考夫曼 ;

罗德尼·C·基斯特勒 ;

王淑敏 .

中国专利 :CN1158373C ,2001-09-12

[9]

用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料 [P].

弗拉斯塔·B·考夫曼 ;

罗德尼·C·基斯特勒 ;

王淑敏 .

中国专利 :CN1312843A ,2001-09-12

[10]

用于化学机械抛光的浆料和化学机械抛光方法 [P].

加藤充 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN104471684A ,2015-03-25

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