一种化学机械抛光浆料及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910200319.8

申请日：

2009-12-11

公开(公告)号：

CN102093818A

公开(公告)日：

2011-06-15

发明(设计)人：

荆建芬蔡鑫元

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C23F306

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-15	公开	公开
2013-07-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101622824238 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009102003198 申请公布日:20110615

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光浆料及其应用 [P].

丁纪俊 ;

雷双双 ;

王辰伟 ;

李仕权 .

中国专利 :CN119736632A ,2025-04-01

[2]

一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103160207A ,2013-06-19

[3]

一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN103866326A ,2014-06-18

[4]

金属化学机械抛光浆料 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

潘依君 .

中国专利 :CN106929858A ,2017-07-07

[5]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

张建 .

中国专利 :CN102533118A ,2012-07-04

[6]

一种化学机械抛光浆料 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102477262A ,2012-05-30

[7]

一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用 [P].

梁珂 ;

徐锋 ;

王宏宇 ;

殷华 .

中国专利 :CN119162578B ,2025-06-20

[8]

一种化学机械抛光组合物及其在铜化学机械抛光中的应用 [P].

梁珂 ;

徐锋 ;

王宏宇 ;

殷华 .

中国专利 :CN119162578A ,2024-12-20

[9]

一种化学机械抛光浆料及化学机械抛光装置和方法 [P].

李敏 ;

王昭 ;

黄绍龙 ;

景希玮 ;

张珂 ;

王振扬 ;

路新春 .

中国专利 :CN119220180A ,2024-12-31

[10]

一种铜化学机械抛光液及其应用和化学机械抛光方法 [P].

卞鹏程 ;

崔晓坤 ;

王庆伟 .

中国专利 :CN114958206B ,2024-02-02

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