一种化学机械抛光浆料

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010585380.1
申请日
2010-12-10
公开(公告)号
CN102533118A
公开(公告)日
2012-07-04
发明(设计)人
荆建芬 蔡鑫元 张建
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
代理机构
上海翰鸿律师事务所 31246
代理人
李佳铭
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
金属化学机械抛光浆料 [P]. 
张建 ;
荆建芬 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
杨俊雅 ;
潘依君 .
中国专利 :CN106929858A ,2017-07-07
[2]
一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P]. 
荆建芬 ;
张建 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN103160207A ,2013-06-19
[3]
一种金属化学机械抛光浆料及其应用 [P]. 
荆建芬 ;
张建 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN103866326A ,2014-06-18
[4]
一种化学机械抛光浆料 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN102477259B ,2012-05-30
[5]
一种化学机械抛光浆料 [P]. 
荆建芬 ;
张建 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN102477262A ,2012-05-30
[6]
一种化学机械抛光浆料及其应用 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN102093818A ,2011-06-15
[7]
一种化学机械抛光浆料 [P]. 
徐春 .
中国专利 :CN101684393B ,2010-03-31
[8]
一种化学机械抛光浆料及其应用 [P]. 
丁纪俊 ;
雷双双 ;
王辰伟 ;
李仕权 .
中国专利 :CN119736632A ,2025-04-01
[9]
铜的化学机械抛光浆料 [P]. 
荆建芬 ;
宋伟红 ;
顾元 ;
徐春 ;
宋鹰 .
中国专利 :CN1955239A ,2007-05-02
[10]
化学机械抛光用浆料 [P]. 
崔银美 ;
申东穆 ;
曹升范 .
中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11