硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410066674.8

申请日：

2004-09-24

公开(公告)号：

CN1616572A

公开(公告)日：

2005-05-18

发明(设计)人：

张楷亮宋志棠刘波刘卫丽封松林陈邦明

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

潘振甦

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20181227 变更事项:专利权人变更前权利人:上海新安纳电子科技有限公司变更后权利人:太原逸峰源科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号变更后权利人:030100 山西省太原市阳曲县黄寨镇大屯庄村、小屯庄村
2005-05-18	公开	公开
2022-09-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20040924 授权公告日:20070214 终止日期:20210924
2007-02-14	授权	授权
2012-06-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101383729916 IPC(主分类):C09G 1/02 专利号:ZL2004100666748 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所变更后权利人:上海新安纳电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号变更后权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号登记生效日:20120514
2021-04-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20210331 变更事项:专利权人变更前权利人:太原逸峰源科技有限公司变更后权利人:杭州余杭尖峰实业有限公司变更事项:地址变更前权利人:030100 山西省太原市阳曲县黄寨镇大屯庄村、小屯庄村变更后权利人:311106 浙江省杭州市余杭区塘栖镇姚家埭村
2005-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液及其应用 [P].

张楷亮 ;

宋志棠 ;

封松林 ;

陈邦明 .

中国专利 :CN100335581C ,2005-06-29

[2]

硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘波 ;

封松林 .

中国专利 :CN101372606A ,2009-02-25

[3]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[4]

化学机械抛光液及其应用 [P].

赵东旭 .

中国专利 :CN113249035B ,2024-05-24

[5]

化学机械抛光液及其应用 [P].

赵东旭 .

中国专利 :CN113249035A ,2021-08-13

[6]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[7]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[8]

SiSb基相变材料用化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘波 ;

封松林 .

中国专利 :CN101586005A ,2009-11-25

[9]

化学机械抛光液及其抛光方法 [P].

潘国顺 ;

陈高攀 ;

潘立焱 ;

罗海梅 ;

周艳 ;

罗桂海 ;

张楚红 .

中国专利 :CN115433522A ,2022-12-06

[10]

一种用于硫系相变材料的化学机械抛光方法 [P].

张楷亮 ;

张涛峰 ;

王芳 ;

赵金石 ;

曲长庆 .

中国专利 :CN102441819B ,2012-05-09

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