栅极结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610029922.0

申请日：

2006-08-10

公开(公告)号：

CN101123185A

公开(公告)日：

2008-02-13

发明(设计)人：

罗飞吴金刚高大为高关且

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-13	公开	公开
2008-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-03-11	授权	授权
2011-12-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101249323945 IPC(主分类):H01L 21/28 专利号:ZL2006100299220 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111117

共 50 条

[1]

栅极结构的制造方法 [P].

罗飞 ;

吴金刚 ;

高大为 ;

高关且 .

中国专利 :CN101123186A ,2008-02-13

[2]

栅极结构及其制造方法 [P].

钟汇才 ;

骆志炯 ;

梁擎擎 .

中国专利 :CN102655168A ,2012-09-05

[3]

栅极结构的制造方法 [P].

张海洋 ;

陈海华 ;

黄怡 ;

段晓斌 .

中国专利 :CN101587834A ,2009-11-25

[4]

栅极结构的制造方法 [P].

彭坤 .

中国专利 :CN101651095A ,2010-02-17

[5]

栅极结构、包含栅极结构的器件及其制造方法 [P].

张文广 ;

郭佳衢 .

中国专利 :CN101202221A ,2008-06-18

[6]

栅极及半导体器件的制造方法、用于制造栅极的结构 [P].

朱峰 ;

张海洋 .

中国专利 :CN101364537A ,2009-02-11

[7]

栅极结构的制造方法 [P].

冯家馨 ;

王海艇 ;

蔡瀚霆 ;

郑振辉 ;

吕伟元 ;

罗先庆 ;

陈冠仲 .

中国专利 :CN102194680A ,2011-09-21

[8]

栅极结构的制造方法 [P].

叶明熙 ;

黄益成 ;

徐帆毅 ;

欧阳晖 .

中国专利 :CN102044423A ,2011-05-04

[9]

栅极的制造方法 [P].

张海洋 ;

刘乒 ;

马擎天 .

中国专利 :CN101290879B ,2008-10-22

[10]

栅极的制造方法 [P].

顾海芳 ;

张志诚 ;

林宗谟 ;

陈明志 .

中国专利 :CN109637979B ,2019-04-16

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