一种嵌入式存储器件侧墙的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410045908.4

申请日：

2014-02-08

公开(公告)号：

CN104835790B

公开(公告)日：

2015-08-12

发明(设计)人：

刘良柳会雄

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2711517

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101624661084 IPC(主分类):H01L 21/8247 专利申请号:2014100459084 申请日:20140208
2017-10-31	授权	授权
2015-08-12	公开	公开

共 50 条

[1]

优化嵌入式存储器件栅极形成的方法 [P].

吴熙烁 ;

吴志涛 .

中国专利 :CN120769549A ,2025-10-10

[2]

形成嵌入式存储器件的方法 [P].

丁裕伟 ;

黄国钦 ;

白志阳 .

中国专利 :CN103579123A ,2014-02-12

[3]

用于嵌入式SONOS存储器集成工艺的侧墙结构及制造方法 [P].

严舒瑶 ;

熊伟 ;

张可刚 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN105529333A ,2016-04-27

[4]

一种用于嵌入式闪存自对准源漏极的侧墙制造方法 [P].

孔蔚然 ;

董耀旗 ;

李容林 ;

李栋 ;

李寒冰 .

中国专利 :CN101183666A ,2008-05-21

[5]

一种用于嵌入式SONOS存储器的侧墙的制造方法 [P].

周平生 ;

张可钢 ;

毛新宇 .

中国专利 :CN119943661A ,2025-05-06

[6]

嵌入式存储器及其制造方法 [P].

顾文炳 .

中国专利 :CN120076336A ,2025-05-30

[7]

嵌入式存储器及其制造方法 [P].

顾文炳 .

中国专利 :CN120076337A ,2025-05-30

[8]

嵌入式非易失性存储器器件及其制造方法 [P].

陈春 ;

J·朴 ;

金恩顺 ;

姜仁国 ;

姜成泽 ;

张国栋 .

美国专利 :CN110785845B ,2024-01-05

[9]

嵌入式非易失性存储器器件及其制造方法 [P].

陈春 ;

J·朴 ;

金恩顺 ;

姜仁国 ;

姜成泽 ;

张国栋 .

中国专利 :CN110785845A ,2020-02-11

[10]

具有嵌入式存储器件的打印头 [P].

约翰·G·艾德林 ;

乔治·K·帕里什 ;

克里斯蒂·M·罗为 .

中国专利 :CN1890101A ,2007-01-03

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