一种晶圆清洗系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410821743.5

申请日：

2014-12-26

公开(公告)号：

CN104492764A

公开(公告)日：

2015-04-08

发明(设计)人：

刘思佳

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号

IPC主分类号：

B08B704

IPC分类号：

B08B302 B08B502 H01L2102

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效专利申请号:2014108217435 申请日:20141226 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101608398583 IPC(主分类):B08B 7/04
2015-04-08	公开	公开
2017-09-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758377217 IPC(主分类):B08B 7/04 专利申请号:2014108217435 申请公布日:20150408

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗系统 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204503678U ,2015-07-29

[2]

一种晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

胡自立 .

中国专利 :CN118448295A ,2024-08-06

[3]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

[4]

一种晶圆循环清洗系统 [P].

郭亚飞 .

中国专利 :CN218241784U ,2023-01-06

[5]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗系统 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

廖东园 .

中国专利 :CN118969601A ,2024-11-15

[6]

一种晶圆清洗方法以及晶圆清洗系统 [P].

陈新来 .

中国专利 :CN114068304A ,2022-02-18

[7]

一种晶圆清洗系统及清洗方法 [P].

王迎春 ;

钟大伟 ;

楚佳奇 .

中国专利 :CN118335651A ,2024-07-12

[8]

一种晶圆载具、晶圆清洗系统及方法 [P].

李恒甫 .

中国专利 :CN108470708A ,2018-08-31

[9]

一种具有氮气吹送的晶圆清洗系统以及晶圆清洗方法 [P].

廖世保 ;

蒋渊 ;

卢证凯 ;

邓信甫 .

中国专利 :CN115083969A ,2022-09-20

[10]

一种具有氮气吹送的晶圆清洗系统以及晶圆清洗方法 [P].

廖世保 ;

蒋渊 ;

卢证凯 ;

邓信甫 .

中国专利 :CN115083969B ,2025-09-26

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