一种晶圆循环清洗系统

被引：0

申请号：

CN202222101536.5

申请日：

2022-08-10

公开(公告)号：

CN218241784U

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

郭亚飞

申请人：

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B312 G01N2706 G01K1300 G01N3300

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

邵志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗系统 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204503678U ,2015-07-29

[2]

一种晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

胡自立 .

中国专利 :CN118448295A ,2024-08-06

[3]

一种晶圆清洗系统 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104492764A ,2015-04-08

[4]

晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统 [P].

程谦 ;

王虎 ;

陈贤辉 .

中国专利 :CN208781813U ,2019-04-23

[5]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

[6]

晶圆清洗系统 [P].

钱子隆 ;

许定 ;

张再辉 ;

王刚 .

中国专利 :CN216528758U ,2022-05-13

[7]

一种晶圆清洗装置 [P].

黄雷 .

中国专利 :CN207806066U ,2018-09-04

[8]

一种半导体晶圆检测装置、方法及晶圆清洗系统 [P].

慎吉晟 ;

胡艳鹏 ;

卢一泓 ;

李琳 .

中国专利 :CN114256080A ,2022-03-29

[9]

一种晶圆清洗液废液循环利用系统 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN216631866U ,2022-05-31

[10]

一种晶圆腐蚀清洗系统 [P].

郭森 ;

陈俊 .

中国专利 :CN221861587U ,2024-10-18

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