学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

基板处理装置和基板处理方法

被引：0
申请号：
CN202210102360.7
申请日：
2022-01-27
公开(公告)号：
CN114914172A
公开(公告)日：
2022-08-16
发明(设计)人：
福井祥吾 御所真高 冈村聪 浦智仁
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-16 公开 公开
共 50 条
[1]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
五师源太郎 .
中国专利 :CN111540694A ,2020-08-14
[2]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
五师源太郎 .
日本专利 :CN111540694B ,2024-06-07
[3]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
御所真高 ;
山中励二郎 ;
江村智文 .
日本专利 :CN121096912A ,2025-12-09
[4]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
御所真高 ;
山中励二郎 .
中国专利 :CN115083953A ,2022-09-20
[5]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
户岛孝之 ;
岩下光秋 ;
上川裕二 ;
中岛干雄 .
中国专利 :CN102479671A ,2012-05-30
[6]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
井原亨 ;
五师源太郎 ;
山下刚秀 .
中国专利 :CN112838028A ,2021-05-25
[7]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
井原亨 ;
田中晓 ;
五师源太郎 ;
山下刚秀 ;
山中励二郎 ;
神代英明 .
中国专利 :CN114496837A ,2022-05-13
[8]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
姜亨奭 ;
元俊皓 ;
A·科里阿金 ;
金旻佑 ;
李根洙 ;
吴承彦 ;
金希锡 .
韩国专利 :CN120221389A ,2025-06-27
[9]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
梅崎翔太 ;
稻富弘朗 .
中国专利 :CN114068359A ,2022-02-18
[10]
基板处理装置和基板处理方法 [P]. 
梅崎翔太 ;
稻富弘朗 .
中国专利 :CN114068360A ,2022-02-18
12345