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基板处理装置和基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010081888.1
申请日：
2020-02-06
公开(公告)号：
CN111540694B
公开(公告)日：
2024-06-07
发明(设计)人：
五师源太郎
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-07 | 授权 | 授权 |