基板处理方法以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610142366.8

申请日：

2006-10-11

公开(公告)号：

CN1949086B

公开(公告)日：

2007-04-18

发明(设计)人：

桥诘彰夫

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

徐恕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2022-09-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20061011 授权公告日:20100908 终止日期:20211011
2010-09-08	授权	授权
2007-04-18	公开	公开
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713260332 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2006101423668 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713260331 IPC(主分类):G03F 7/42 专利号:ZL2006101423668 变更事项:专利权人变更前:大日本网目版制造株式会社变更后:大日本网屏制造株式会社变更事项:地址变更前:日本京都府京都市变更后:日本京都府京都市

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 ;

滩原壮一 ;

上田大 ;

北川广明 ;

奥村勝弥 .

中国专利 :CN107481954A ,2017-12-15

[2]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

宫川纱希 ;

佐藤雅伸 ;

堀口博司 .

日本专利 :CN117941035A ,2024-04-26

[3]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

泉昭 ;

佐野谦一 .

中国专利 :CN1794430A ,2006-06-28

[4]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

合田和树 ;

岩田敬次 ;

松永恭幸 ;

高桥朋宏 .

中国专利 :CN114068358A ,2022-02-18

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN104992912A ,2015-10-21

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

小林信雄 ;

古川长树 ;

山崎克弘 ;

齐藤裕树 .

中国专利 :CN107275257A ,2017-10-20

[7]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

仓崎浩二 ;

枝光建治 ;

佐藤昌治 ;

武知圭 ;

松村刚至 ;

内田博章 ;

山本滋 ;

高桥朋宏 ;

岩谷浩伸 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN108666235A ,2018-10-16

[8]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

菅原雄二 ;

东克荣 ;

竹松佑介 ;

温井宏树 ;

青木拓 .

中国专利 :CN110262198A ,2019-09-20

[9]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

尾辻正幸 .

中国专利 :CN108305842B ,2018-07-20

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金光洙 .

中国专利 :CN104128292A ,2014-11-05

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