用于半导体晶圆的工装篮

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911305797.5
申请日
2019-12-17
公开(公告)号
CN110980215A
公开(公告)日
2020-04-10
发明(设计)人
杨宣教
申请人
申请人地址
215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村(金港大道东侧)1室张家港市德昶自动化科技有限公司
IPC主分类号
B65G4724
IPC分类号
B65G4790
代理机构
苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304
代理人
马丽丽
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
用于半导体晶圆的工装篮 [P]. 
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[2]
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[3]
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C·费尔斯特 ;
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[4]
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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