工件状态监测装置及方法、半导体设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910417392.4

申请日：

2019-05-20

公开(公告)号：

CN111968925A

公开(公告)日：

2020-11-20

发明(设计)人：

姜宏伟

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190520
2020-11-20	公开	公开

共 50 条

[1]

工件状态监测装置及方法、半导体设备 [P].

姜宏伟 .

中国专利 :CN111968925B ,2024-05-17

[2]

半导体设备运行状态监测装置 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN214252462U ,2021-09-21

[3]

半导体设备及工件状态检测方法 [P].

张明 ;

许璐 .

中国专利 :CN111640685A ,2020-09-08

[4]

半导体设备及工件状态检测方法 [P].

张明 ;

许璐 .

中国专利 :CN111640685B ,2024-06-21

[5]

半导体设备及其磨损状态监测装置 [P].

干怀渝 ;

王涛 ;

侯景瑞 ;

辛文涛 .

中国专利 :CN220305185U ,2024-01-05

[6]

半导体工艺设备及晶圆状态监测方法 [P].

姜宏伟 .

中国专利 :CN113903688A ,2022-01-07

[7]

对半导体工件进行处理的半导体设备及方法 [P].

蔡承祐 ;

杨固峰 ;

邱文智 .

中国专利 :CN114334638A ,2022-04-12

[8]

工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备 [P].

侯文潭 ;

李莉 .

中国专利 :CN110993530A ,2020-04-10

[9]

工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备 [P].

侯文潭 ;

李莉 .

中国专利 :CN110993530B ,2024-02-27

[10]

半导体装置及半导体设备 [P].

连于仁 ;

余振华 ;

谢政杰 ;

余国宠 ;

郭鸿毅 ;

沈科翰 .

中国专利 :CN223552532U ,2025-11-14

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