聚焦离子束装置和调整离子束光学系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310083996.2

申请日：

2013-03-15

公开(公告)号：

CN103311080A

公开(公告)日：

2013-09-18

发明(设计)人：

杉山安彦麻畑达也土井利夫大庭弘

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01J3721

IPC分类号：

H01J3730 H01J37304

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;黄纶伟

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101723061232 IPC(主分类):H01J 37/21 专利申请号:2013100839962 申请公布日:20130918
2013-09-18	公开	公开

共 50 条

[1]

聚焦离子束装置 [P].

大西毅 ;

岩堀敏行 .

中国专利 :CN107204268B ,2017-09-26

[2]

聚焦离子束装置 [P].

作田训将 ;

福田知久 ;

水野议觉 .

日本专利 :CN120376390A ,2025-07-25

[3]

聚焦离子束装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN115699243A ,2023-02-03

[4]

聚焦离子束装置 [P].

水村通伸 .

日本专利 :CN115699243B ,2024-12-17

[5]

聚焦离子束装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN115668433A ,2023-01-31

[6]

聚焦离子束装置 [P].

水野议觉 ;

繁山航 ;

青岛慎 .

日本专利 :CN119725055A ,2025-03-28

[7]

聚焦离子束装置 [P].

顾晓芳 ;

刘永波 ;

倪棋梁 ;

龙吟 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN102915900A ,2013-02-06

[8]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[9]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[10]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

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