一种硅片的处理方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910092130.5

申请日：

2019-01-30

公开(公告)号：

CN109759937A

公开(公告)日：

2019-05-17

发明(设计)人：

具成旻崔世勋李昀泽白宗权

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B08B304 B08B302

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-17	公开	公开
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 29/02 申请公布日:20190517
2019-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20190130

共 50 条

[1]

一种硅片处理方法和硅片处理装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 ;

李侨 ;

董升 ;

周锐 .

中国专利 :CN114457410A ,2022-05-10

[2]

一种硅片处理装置和处理方法 [P].

张少飞 .

中国专利 :CN110544654B ,2019-12-06

[3]

硅片处理装置和硅片处理设备 [P].

唐贝 .

中国专利 :CN118969672A ,2024-11-15

[4]

一种监测装置和硅片处理装置 [P].

李亮亮 .

中国专利 :CN111037458A ,2020-04-21

[5]

一种硅片的处理方法 [P].

马乾志 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

姚祖英 ;

张雨杭 .

中国专利 :CN117672812B ,2024-09-13

[6]

一种硅片的处理方法 [P].

马乾志 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

姚祖英 ;

张雨杭 .

中国专利 :CN117672812A ,2024-03-08

[7]

一种硅片的处理装置 [P].

尹海鹏 ;

黄卓 ;

周艳方 .

中国专利 :CN208889609U ,2019-05-21

[8]

一种硅片的处理方法及装置 [P].

尹海鹏 ;

黄卓 ;

周艳方 .

中国专利 :CN109300779A ,2019-02-01

[9]

一种用于硅片检测的硅片处理装置 [P].

凌晓国 ;

岳旭 ;

余传江 .

中国专利 :CN206340520U ,2017-07-18

[10]

一种硅片的处理方法、检测方法及处理装置 [P].

张婉婉 ;

文英熙 ;

柳清超 .

中国专利 :CN110187061B ,2019-08-30

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