一种硅片的处理方法、检测方法及处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910477898.4

申请日：

2019-06-03

公开(公告)号：

CN110187061B

公开(公告)日：

2019-08-30

发明(设计)人：

张婉婉文英熙柳清超

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

G01N3300

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-25	授权	授权
2019-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/00 申请日:20190603
2019-08-30	公开	公开
2021-10-22	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N 33/00 登记生效日:20211011 变更事项:申请人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:申请人变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司

共 50 条

[1]

一种硅片处理装置和处理方法 [P].

张少飞 .

中国专利 :CN110544654B ,2019-12-06

[2]

一种硅片的处理方法 [P].

马乾志 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

姚祖英 ;

张雨杭 .

中国专利 :CN117672812B ,2024-09-13

[3]

一种硅片的处理方法 [P].

马乾志 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

姚祖英 ;

张雨杭 .

中国专利 :CN117672812A ,2024-03-08

[4]

一种硅片处理方法和硅片处理装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 ;

李侨 ;

董升 ;

周锐 .

中国专利 :CN114457410A ,2022-05-10

[5]

一种硅片的处理方法及装置 [P].

尹海鹏 ;

黄卓 ;

周艳方 .

中国专利 :CN109300779A ,2019-02-01

[6]

硅片处理装置及方法 [P].

王刚 ;

施益超 ;

姜杰 ;

黄栋梁 ;

宋海军 .

中国专利 :CN108803245A ,2018-11-13

[7]

硅片处理方法及装置 [P].

李亮亮 .

中国专利 :CN111477539A ,2020-07-31

[8]

硅片处理装置及方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110068989B ,2019-07-30

[9]

一种硅片处理装置及方法 [P].

李昀泽 .

中国专利 :CN110364463A ,2019-10-22

[10]

一种硅片处理装置及方法 [P].

李昀泽 .

中国专利 :CN110394706A ,2019-11-01

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