一种硅片处理方法和硅片处理装置

被引：0

申请号：

CN202111677988.1

申请日：

2021-12-31

公开(公告)号：

CN114457410A

公开(公告)日：

2022-05-10

发明(设计)人：

邓浩韩伟李侨董升周锐

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B2906 C01B33037 C30B3300

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

赵娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20211231
2022-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

硅片处理装置和硅片处理设备 [P].

唐贝 .

中国专利 :CN118969672A ,2024-11-15

[2]

一种硅片处理方法和装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 .

中国专利 :CN114464699A ,2022-05-10

[3]

一种硅片处理方法和装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 .

中国专利 :CN114464699B ,2025-03-07

[4]

一种硅片处理装置和处理方法 [P].

张少飞 .

中国专利 :CN110544654B ,2019-12-06

[5]

硅片处理装置及硅片处理系统 [P].

李文 ;

刘红 ;

朱祝山 ;

高攀峰 ;

陈晓峰 .

中国专利 :CN208028027U ,2018-10-30

[6]

硅片处理装置 [P].

左国军 ;

成旭 ;

邱瑞 ;

任金枝 .

中国专利 :CN212934566U ,2021-04-09

[7]

硅片处理装置及其处理方法 [P].

李中秋 ;

徐兵 ;

李志丹 .

中国专利 :CN102842485A ,2012-12-26

[8]

一种硅片热处理反应管及硅片热处理方法 [P].

孙少东 .

中国专利 :CN103290483B ,2013-09-11

[9]

一种硅片的处理方法和装置 [P].

具成旻 ;

崔世勋 ;

李昀泽 ;

白宗权 .

中国专利 :CN109759937A ,2019-05-17

[10]

一种用于硅片检测的硅片处理装置 [P].

凌晓国 ;

岳旭 ;

余传江 .

中国专利 :CN206340520U ,2017-07-18

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