一种硅片处理方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111680653.5

申请日：

2021-12-31

公开(公告)号：

CN114464699B

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

邓浩韩伟

申请人：

隆基绿能科技股份有限公司

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

H10F71/00

IPC分类号：

H10F77/70 C30B33/12 C30B29/06

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

周海业

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片处理方法和装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 .

中国专利 :CN114464699A ,2022-05-10

[2]

一种硅片处理方法和硅片处理装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 ;

李侨 ;

董升 ;

周锐 .

中国专利 :CN114457410A ,2022-05-10

[3]

一种硅片处理方法和硅片 [P].

马强强 ;

张少飞 .

中国专利 :CN112420539A ,2021-02-26

[4]

一种硅片处理装置和处理方法 [P].

张少飞 .

中国专利 :CN110544654B ,2019-12-06

[5]

一种晶体硅片表面处理的方法 [P].

季静佳 ;

覃榆森 ;

朱凡 .

中国专利 :CN102856189B ,2013-01-02

[6]

一种异质结电池硅片处理方法 [P].

张良 ;

孙鹏 ;

赵泽 ;

张景 .

中国专利 :CN117457791B ,2024-07-26

[7]

一种异质结电池硅片处理方法 [P].

张良 ;

孙鹏 ;

赵泽 ;

张景 .

中国专利 :CN117457791A ,2024-01-26

[8]

一种硅片热处理反应管及硅片热处理方法 [P].

孙少东 .

中国专利 :CN103290483B ,2013-09-11

[9]

一种硅片预处理方法 [P].

张清明 ;

时锋 .

中国专利 :CN115588607A ,2023-01-10

[10]

一种硅片的处理方法 [P].

马乾志 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

姚祖英 ;

张雨杭 .

中国专利 :CN117672812B ,2024-09-13

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