一种硅片处理方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111680653.5

申请日：

2021-12-31

公开(公告)号：

CN114464699B

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

邓浩韩伟

申请人：

隆基绿能科技股份有限公司

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

H10F71/00

IPC分类号：

H10F77/70 C30B33/12 C30B29/06

代理机构：

北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319

代理人：

周海业

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权

共 50 条

[21]

硅片处理方法及装置 [P].

李亮亮 .

中国专利 :CN111477539A ,2020-07-31

[22]

一种硅片表面清洁装置和方法 [P].

葛华 ;

郑锋标 ;

张帅 .

中国专利 :CN112750719A ,2021-05-04

[23]

一种硅片清洗方法和清洗装置 [P].

宫尾秀一 .

中国专利 :CN110085513A ,2019-08-02

[24]

硅片处理装置 [P].

左国军 ;

成旭 ;

邱瑞 ;

任金枝 .

中国专利 :CN212934566U ,2021-04-09

[25]

一种cmos硅片裂片的处理装置及其处理方法 [P].

黄福仁 ;

黄赛琴 ;

林勇 .

中国专利 :CN103811422B ,2014-05-21

[26]

一种太阳黑硅电池硅片的处理方法 [P].

王永伟 ;

朱杰 ;

卫春燕 ;

王猛 ;

陈亮 ;

张维 .

中国专利 :CN108172662A ,2018-06-15

[27]

硅片处理装置及硅片处理系统 [P].

李文 ;

刘红 ;

朱祝山 ;

高攀峰 ;

陈晓峰 .

中国专利 :CN208028027U ,2018-10-30

[28]

一种硅片清洗方法 [P].

程丙坤 .

中国专利 :CN111261493A ,2020-06-09

[29]

一种硅片清洗装置 [P].

刘园 ;

袁祥龙 ;

赵洋 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

张宏杰 ;

由佰玲 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN218191339U ,2023-01-03

[30]

一种硅片夹持装置 [P].

张少飞 ;

史进 .

中国专利 :CN110416150A ,2019-11-05

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