一种硅片处理装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910675241.9

申请日：

2019-07-25

公开(公告)号：

CN110364463A

公开(公告)日：

2019-10-22

发明(设计)人：

李昀泽

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L2102

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;刘伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190725
2021-10-29	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20211019 变更事项:申请人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:申请人变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司
2019-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片处理装置及方法 [P].

李昀泽 .

中国专利 :CN110394706A ,2019-11-01

[2]

一种硅片处理装置及方法 [P].

王刚 ;

田翠侠 ;

姜杰 ;

王邵玉 ;

阮冬 .

中国专利 :CN105632971B ,2016-06-01

[3]

一种硅片处理方法和硅片处理装置 [P].

邓浩 ;

韩伟 ;

李侨 ;

董升 ;

周锐 .

中国专利 :CN114457410A ,2022-05-10

[4]

硅片处理装置及方法 [P].

王刚 ;

施益超 ;

姜杰 ;

黄栋梁 ;

宋海军 .

中国专利 :CN108803245A ,2018-11-13

[5]

硅片处理装置及方法 [P].

王刚 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110068989B ,2019-07-30

[6]

一种硅片的处理方法及装置 [P].

尹海鹏 ;

黄卓 ;

周艳方 .

中国专利 :CN109300779A ,2019-02-01

[7]

一种硅片切割废液处理装置及处理方法 [P].

吴友洲 ;

凌蘅 ;

凌平庆 .

中国专利 :CN118420179A ,2024-08-02

[8]

一种硅片切割废液处理装置及处理方法 [P].

吴友洲 ;

凌蘅 ;

凌平庆 .

中国专利 :CN118420179B ,2024-12-13

[9]

一种硅片的处理方法、检测方法及处理装置 [P].

张婉婉 ;

文英熙 ;

柳清超 .

中国专利 :CN110187061B ,2019-08-30

[10]

硅片处理装置及硅片处理系统 [P].

李文 ;

刘红 ;

朱祝山 ;

高攀峰 ;

陈晓峰 .

中国专利 :CN208028027U ,2018-10-30

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