多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680036526.9

申请日：

2006-10-04

公开(公告)号：

CN101278376A

公开(公告)日：

2008-10-01

发明(设计)人：

白石雅之

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G02B508 G03F720 G21K106

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-01	公开	公开
2009-11-11	授权	授权
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

多层膜反射镜、多层膜反射镜的制造方法及曝光系统 [P].

神高典明 ;

村上胜彦 ;

小宫毅治 ;

白石雅之 .

中国专利 :CN100449690C ,2006-11-22

[2]

防反射膜、光学元件及光学系统 [P].

中村诚吾 ;

吉弘达矢 ;

梅田贤一 ;

板井雄一郎 .

中国专利 :CN111095037A ,2020-05-01

[3]

反射防止膜、光学元件及光学系统 [P].

寺山悦夫 .

中国专利 :CN101271166A ,2008-09-24

[4]

反射镜座、光学系统和投射曝光设备 [P].

R·奥尔利克 ;

D·佩茨 ;

A·加拉提杜 ;

J·克鲁伊斯 ;

M·纳夫兹 ;

K·里弗 .

德国专利 :CN120283187A ,2025-07-08

[5]

光刻曝光设备的反射镜布置和包括反射镜布置的光学系统 [P].

W.B.J.哈克福特 ;

R.P.霍杰沃尔斯特 ;

P.T.罗格斯 ;

K.希尔德 ;

T.格鲁纳 .

中国专利 :CN107851473A ,2018-03-27

[6]

EUV反射镜和包括EUV反射镜的光学系统 [P].

T.希克坦兹 ;

H-J.保罗 ;

C.扎克齐克 .

中国专利 :CN104919537B ,2015-09-16

[7]

反射镜调整结构及投影光学系统 [P].

杜健 ;

孙阳 ;

杨思文 ;

孔维成 ;

付瑶 ;

陈易 .

中国专利 :CN105487197A ,2016-04-13

[8]

横向多焦点光斑反射镜及光学系统 [P].

秦应雄 ;

李硕 ;

李恒阳 ;

徐家明 ;

程明 ;

刘旭 ;

李想旺 .

中国专利 :CN118011542A ,2024-05-10

[9]

投影光学系统及曝光装置 [P].

马颖鏖 ;

末永丰 .

中国专利 :CN117492333A ,2024-02-02

[10]

反射镜组、光学器件和光学系统 [P].

李志超 ;

廖传武 ;

侯炳泽 ;

贺亮 .

中国专利 :CN112987153B ,2021-06-18

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