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投影光学系统及曝光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311507398.3
申请日：
2023-11-13
公开(公告)号：
CN117492333A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
马颖鏖
末永丰
申请人：
上海芙野光学技术有限公司
申请人地址：
201802 上海市嘉定区南翔镇田旺路65号2幢1层A区
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290
代理人：
袁亚军
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231113 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |