共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-12-15 | 授权 | 授权 |
| 2001-08-08 | 公开 | 公开 |
| 2001-05-16 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2010-10-13 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101009187944 IPC(主分类):H01L 21/78 专利号:ZL011004827 变更事项:专利权人 变更前:恩益禧电子股份有限公司 变更后:瑞萨电子株式会社 变更事项:地址 变更前:日本神奈川县 变更后:日本神奈川县 |
| 2018-03-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20010116 授权公告日:20041215 终止日期:20170116 |