包括耐磨扩散阻挡层体系的基材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00814802.3

申请日：

2000-10-27

公开(公告)号：

CN1221324C

公开(公告)日：

2002-11-27

发明(设计)人：

马丁·门尼格彼得·W·奥利维拉赫尔穆特·施米特

申请人：

申请人地址：

德国萨尔布吕肯

IPC主分类号：

B05D700

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

宋莉;贾静环

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-10-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B05D 7/00 申请日:20001027 授权公告日:20051005 终止日期:20171027
2005-10-05	授权	授权
2002-11-27	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN110053423A ,2019-07-26

[2]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格伦兰 ;

M·A·普廖洛 ;

P·温斯顿 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104870107A ,2015-08-26

[3]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

[4]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

P·温斯顿 ;

B·E·史蒂文斯 .

中国专利 :CN107206421A ,2017-09-26

[5]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN104114286A ,2014-10-22

[6]

薄膜扩散阻挡层 [P].

J·C·格兰朗 ;

M·A·普寥洛 ;

B·R·贝格曼 ;

J·J·麦克休 .

中国专利 :CN107101587A ,2017-08-29

[7]

合金扩散阻挡层 [P].

N·戴德文德 ;

S·F·帕沃内 ;

C·D·马纳克 .

中国专利 :CN111052362A ,2020-04-21

[8]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

刘洋 ;

何丹丹 ;

汪雷 ;

王婷 .

中国专利 :CN110970350A ,2020-04-07

[9]

包含α-Ta层的扩散阻挡层的制备方法以及复合扩散阻挡层 [P].

任兴润 ;

王婷 ;

汪雷 ;

刘洋 ;

何丹丹 .

中国专利 :CN110970349A ,2020-04-07

[10]

碱金属扩散阻挡层 [P].

J·J·芬雷 ;

F·H·吉勒理 .

中国专利 :CN1134920A ,1996-11-06

← 1 2 3 4 5 →