一种多晶硅TFT基板的制作方法及多晶硅TFT基板

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711258888.9
申请日
2017-12-04
公开(公告)号
CN108198754B
公开(公告)日
2018-06-22
发明(设计)人
刘丹
申请人
申请人地址
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号
H01L21265
IPC分类号
H01L21336 H01L29786 H01L2910
代理机构
深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238
代理人
潘中毅;熊贤卿
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及低温多晶硅TFT基板 [P]. 
卢改平 .
中国专利 :CN105702622B ,2016-06-22
[2]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及低温多晶硅TFT基板 [P]. 
张占东 ;
汤富雄 .
中国专利 :CN105514035A ,2016-04-20
[3]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及低温多晶硅TFT基板 [P]. 
李松杉 .
中国专利 :CN105097666A ,2015-11-25
[4]
低温多晶硅TFT基板结构的制作方法及低温多晶硅TFT基板结构 [P]. 
张良芬 .
中国专利 :CN105097667A ,2015-11-25
[5]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及低温多晶硅TFT基板 [P]. 
虞晓江 .
中国专利 :CN105679772B ,2016-06-15
[6]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及其结构 [P]. 
卢改平 .
中国专利 :CN104599959A ,2015-05-06
[7]
低温多晶硅TFT基板的制作方法及其结构 [P]. 
卢改平 .
中国专利 :CN104600028A ,2015-05-06
[8]
低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及低温多晶硅TFT基板 [P]. 
张瑞军 ;
卢马才 ;
王松 .
中国专利 :CN108831894A ,2018-11-16
[9]
低温多晶硅TFT的制作方法及低温多晶硅TFT [P]. 
胡道兵 .
中国专利 :CN113611752A ,2021-11-05
[10]
低温多晶硅TFT的制作方法及低温多晶硅TFT [P]. 
胡道兵 .
中国专利 :CN113611752B ,2024-01-16