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一种半导体设备用冷却盘装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022919334.2
申请日：
2020-12-08
公开(公告)号：
CN213814445U
公开(公告)日：
2021-07-27
发明(设计)人：
冯嘉荔
申请人：
申请人地址：
511300 广东省广州市增城区新塘镇解放路15号
IPC主分类号：
G05G502
IPC分类号：
F25B2102
代理机构：
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227
代理人：
吴圳添
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 授权 | 授权 |