垂直沟道双机制导通纳米线隧穿晶体管及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410162765.5

申请日：

2014-04-22

公开(公告)号：

CN103996713B

公开(公告)日：

2014-08-20

发明(设计)人：

王超黄如吴春蕾黄芊芊赵阳

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

H01L2978

IPC分类号：

H01L2906 H01L21336 H01L21265

代理机构：

北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360

代理人：

朱红涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586961471 IPC(主分类):H01L 29/78 专利申请号:2014101627655 申请日:20140422
2017-02-15	授权	授权
2017-02-15	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101746698699 IPC(主分类):H01L 29/78 专利申请号:2014101627655 变更事项:发明人变更前:王超;黄如;吴春蕾;黄芊芊变更后:王超;黄如;吴春蕾;黄芊芊;赵阳
2014-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米线隧穿晶体管 [P].

弗雷德·胡尔克斯 ;

普拉巴特·阿加瓦尔 .

中国专利 :CN101375398B ,2009-02-25

[2]

垂直沟道双栅隧穿晶体管及其制备方法 [P].

臧松干 ;

王鹏飞 ;

张卫 .

中国专利 :CN101819975A ,2010-09-01

[3]

隧穿晶体管及隧穿晶体管的制备方法 [P].

吴昊 ;

张臣雄 ;

杨喜超 ;

赵静 .

中国专利 :CN107431089A ,2017-12-01

[4]

一种基于共振隧穿的纳米线晶体管及其制备方法 [P].

赵晓松 ;

韩伟华 ;

郭仰岩 ;

窦亚梅 ;

张晓迪 ;

吴歆宇 ;

杨富华 .

中国专利 :CN110491940A ,2019-11-22

[5]

隧穿晶体管及隧穿晶体管的制造方法 [P].

赵静 ;

杨喜超 ;

吴昊 ;

张臣雄 .

中国专利 :CN107431088B ,2017-12-01

[6]

垂直沟道的隧穿晶体管的制造方法 [P].

王鹏飞 ;

林曦 ;

刘伟 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN102403233A ,2012-04-04

[7]

垂直堆叠的环栅纳米线隧穿场效应晶体管及其制备方法 [P].

朱正勇 ;

朱慧珑 .

中国专利 :CN108133960A ,2018-06-08

[8]

垂直非均匀掺杂沟道的短栅隧穿场效应晶体管及制备方法 [P].

黄如 ;

吴春蕾 ;

黄芊芊 ;

王超 ;

王佳鑫 ;

王阳元 .

中国专利 :CN103151391B ,2013-06-12

[9]

纳米线晶体管及其制备方法 [P].

唐粕人 .

中国专利 :CN109755290B ,2019-05-14

[10]

纳米线晶体管及其制备方法 [P].

唐粕人 .

中国专利 :CN109755312A ,2019-05-14

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