多元素掺杂的n型氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200910195701.4
申请日
2009-09-15
公开(公告)号
CN101660120A
公开(公告)日
2010-03-03
发明(设计)人
黄富强 万冬云
申请人
申请人地址
200050上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
C23C1408
IPC分类号
C23C1435
代理机构
上海光华专利事务所
代理人
许亦琳;余明伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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