多元素掺杂的n型氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200910195701.4
申请日
2009-09-15
公开(公告)号
CN101660120A
公开(公告)日
2010-03-03
发明(设计)人
黄富强 万冬云
申请人
申请人地址
200050上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
C23C1408
IPC分类号
C23C1435
代理机构
上海光华专利事务所
代理人
许亦琳;余明伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[41]
一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P]. 
朱华 ;
王艳香 ;
况慧芸 ;
杨志胜 ;
范学运 ;
郭平春 ;
冯晓炜 .
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[42]
氧化锌铝透明导电薄膜的制备方法及专用设备 [P]. 
徐进成 ;
林春园 .
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[43]
氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置 [P]. 
金良茂 ;
王芸 ;
倪嘉 ;
王萍萍 ;
操芳芳 .
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[44]
一种制备硼掺杂的n型高硬度透明导电氧化锌薄膜的方法 [P]. 
赵嵩卿 ;
周岳亮 ;
刘震 ;
王淑芳 ;
韩鹏 ;
赵昆 ;
相文峰 ;
陈正豪 ;
吕惠宾 ;
程波林 ;
金奎娟 ;
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[45]
δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法 [P]. 
魏鸿源 ;
刘祥林 ;
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[46]
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曹善鹏 ;
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[47]
铝掺杂氧化锌透明导电薄膜、制备方法及薄膜太阳能电池 [P]. 
孟磊 ;
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[48]
用n型氧化锌制备p型氧化锌薄膜的方法 [P]. 
赵东旭 ;
曹萍 ;
吕有明 ;
申德振 ;
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[49]
掺杂氧化锌标准样品及其制备方法和测量未知掺杂氧化锌样品中掺杂元素含量的方法 [P]. 
赵明 ;
武慧敏 ;
王俊萍 .
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[50]
籽晶层辅助的表面织构化氧化锌透明导电薄膜及制备方法 [P]. 
黄富强 ;
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