一种碳化硅加工用清洗装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720771092.2
申请日
2017-06-29
公开(公告)号
CN207126919U
公开(公告)日
2018-03-23
发明(设计)人
宗艳民 杨永泉
申请人
申请人地址
250101 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01室
IPC主分类号
B08B312
IPC分类号
F26B2100
代理机构
济南舜源专利事务所有限公司 37205
代理人
苗峻
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅加工用清洗装置 [P]. 
宗艳民 .
中国专利 :CN206168863U ,2017-05-17
[2]
一种碳化硅加工用清洗装置 [P]. 
高惠 ;
周强 ;
朱述理 ;
马运志 ;
高祥恩 ;
王中连 .
中国专利 :CN217251100U ,2022-08-23
[3]
一种碳化硅加工用清洗装置 [P]. 
许耀迪 .
中国专利 :CN215198512U ,2021-12-17
[4]
碳化硅微粉所用滤布清洗装置 [P]. 
刘文兵 ;
龚志刚 ;
周强 ;
马光明 ;
郝文虎 .
中国专利 :CN206045596U ,2017-03-29
[5]
一种碳化硅清洗装置 [P]. 
赖柏帆 ;
张洁 ;
林武庆 ;
苏双图 .
中国专利 :CN208613232U ,2019-03-19
[6]
一种碳化硅加工清洗装置 [P]. 
齐鹏 ;
骆野 ;
郭立章 ;
吴桂园 ;
姜伟 ;
程大伟 ;
于权军 ;
芦宝山 .
中国专利 :CN220738772U ,2024-04-09
[7]
碳化硅晶片清洗装置 [P]. 
徐良 ;
曹力力 ;
蓝文安 ;
刘建哲 ;
余雅俊 ;
夏建白 ;
李京波 ;
郭炜 ;
叶继春 .
中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27
[8]
一种高效碳化硅清洗装置 [P]. 
时松超 ;
殷广辉 ;
徐兴莉 .
中国专利 :CN206587923U ,2017-10-27
[9]
一种碳化硅片清洗装置 [P]. 
郝运达 ;
吕芳栋 ;
罗鸿 ;
苗家旺 .
中国专利 :CN222020226U ,2024-11-19
[10]
一种碳化硅芯片清洗装置 [P]. 
田李庄 .
中国专利 :CN213558655U ,2021-06-29