一种碳化硅清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820991240.6

申请日：

2018-06-26

公开(公告)号：

CN208613232U

公开(公告)日：

2019-03-19

发明(设计)人：

赖柏帆张洁林武庆苏双图

申请人：

申请人地址：

362211 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B312 B08B310 B08B1300

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

宗艳民 .

中国专利 :CN206168863U ,2017-05-17

[2]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

[3]

一种高效碳化硅清洗装置 [P].

时松超 ;

殷广辉 ;

徐兴莉 .

中国专利 :CN206587923U ,2017-10-27

[4]

一种碳化硅片清洗装置 [P].

郝运达 ;

吕芳栋 ;

罗鸿 ;

苗家旺 .

中国专利 :CN222020226U ,2024-11-19

[5]

一种碳化硅芯片清洗装置 [P].

田李庄 .

中国专利 :CN213558655U ,2021-06-29

[6]

一种碳化硅加工清洗装置 [P].

齐鹏 ;

骆野 ;

郭立章 ;

吴桂园 ;

姜伟 ;

程大伟 ;

于权军 ;

芦宝山 .

中国专利 :CN220738772U ,2024-04-09

[7]

一种碳化硅晶片表面清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

赖章田 ;

陈有生 ;

张城 .

中国专利 :CN216880709U ,2022-07-05

[8]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

宗艳民 ;

杨永泉 .

中国专利 :CN207126919U ,2018-03-23

[9]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

高惠 ;

周强 ;

朱述理 ;

马运志 ;

高祥恩 ;

王中连 .

中国专利 :CN217251100U ,2022-08-23

[10]

一种无溶剂碳化硅清洗装置 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN216827492U ,2022-06-28

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