一种碳化硅加工用清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621085192.1

申请日：

2016-09-27

公开(公告)号：

CN206168863U

公开(公告)日：

2017-05-17

发明(设计)人：

宗艳民

申请人：

申请人地址：

250118 山东省济南市槐荫区美里湖美里路中段

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

代理机构：

济南舜源专利事务所有限公司 37205

代理人：

苗峻

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-17	授权	授权
2020-12-29	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 3/10 变更事项:专利权人变更前:山东天岳先进材料科技有限公司变更后:山东天岳先进科技股份有限公司变更事项:地址变更前:250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01 变更后:250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2019-04-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/10 登记生效日:20190325 变更事项:专利权人变更前权利人:山东天岳晶体材料有限公司变更后权利人:山东天岳先进材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:250118 山东省济南市槐荫区美里湖美里路中段变更后权利人:250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01

共 50 条

[1]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

高惠 ;

周强 ;

朱述理 ;

马运志 ;

高祥恩 ;

王中连 .

中国专利 :CN217251100U ,2022-08-23

[2]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

许耀迪 .

中国专利 :CN215198512U ,2021-12-17

[3]

一种碳化硅加工用清洗装置 [P].

宗艳民 ;

杨永泉 .

中国专利 :CN207126919U ,2018-03-23

[4]

一种碳化硅清洗装置 [P].

赖柏帆 ;

张洁 ;

林武庆 ;

苏双图 .

中国专利 :CN208613232U ,2019-03-19

[5]

一种碳化硅加工清洗装置 [P].

齐鹏 ;

骆野 ;

郭立章 ;

吴桂园 ;

姜伟 ;

程大伟 ;

于权军 ;

芦宝山 .

中国专利 :CN220738772U ,2024-04-09

[6]

一种碳化硅芯片清洗装置 [P].

田李庄 .

中国专利 :CN213558655U ,2021-06-29

[7]

一种碳化硅加工用夹具 [P].

黄利剑 ;

陈国 ;

胡志国 .

中国专利 :CN213889751U ,2021-08-06

[8]

一种无溶剂碳化硅清洗装置 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN216827492U ,2022-06-28

[9]

一种碳化硅板加工用夹紧装置 [P].

周高超 .

中国专利 :CN207711106U ,2018-08-10

[10]

碳化硅晶片清洗装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

夏建白 ;

李京波 ;

郭炜 ;

叶继春 .

中国专利 :CN211757266U ,2020-10-27

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