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静电卡盘工作台的使用方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810144755.7
申请日：
2018-02-12
公开(公告)号：
CN108511382A
公开(公告)日：
2018-09-07
发明(设计)人：
古田健次 里百合子 松崎荣
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2178 B81C9900
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于靖帅;乔婉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-02-28 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20180212
2018-09-07 公开 公开
共 50 条
[1]
静电卡盘工作台的使用方法 [P]. 
古田健次 ;
里百合子 ;
松崎荣 .
日本专利 :CN108511382B ,2024-02-02
[2]
卡盘工作台 [P]. 
饭塚健太吕 ;
寺岛将人 .
中国专利 :CN103715127B ,2014-04-09
[3]
卡盘工作台 [P]. 
金子智洋 ;
铃木章文 ;
鹈鹰俊 ;
田中优也 .
日本专利 :CN113858457B ,2025-09-26
[4]
卡盘工作台 [P]. 
佐藤淳 ;
大庭龙吾 ;
小川雄辉 ;
北原信康 ;
森数洋司 ;
堀口义则 .
中国专利 :CN103962729A ,2014-08-06
[5]
卡盘工作台 [P]. 
金子智洋 ;
铃木章文 ;
鹈鹰俊 ;
田中优也 .
中国专利 :CN113858457A ,2021-12-31
[6]
卡盘工作台 [P]. 
现王园二郎 .
日本专利 :CN111599739B ,2025-08-22
[7]
卡盘工作台 [P]. 
猪俣一树 .
日本专利 :CN118204654A ,2024-06-18
[8]
卡盘工作台 [P]. 
现王园二郎 .
中国专利 :CN111599739A ,2020-08-28
[9]
多孔卡盘工作台和多孔卡盘工作台的制造方法 [P]. 
马路良吾 .
中国专利 :CN112053987A ,2020-12-08
[10]
卡盘工作台 [P]. 
福冈武臣 .
中国专利 :CN106997864B ,2017-08-01
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