干法刻蚀连接孔的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910053812.1

申请日：

2009-06-25

公开(公告)号：

CN101930917A

公开(公告)日：

2010-12-29

发明(设计)人：

王新鹏尹晓明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21311

IPC分类号：

H01L213105 G03F736

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-12-29	公开	公开
2013-01-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101509416195 IPC(主分类):H01L 21/311 专利申请号:2009100538121 申请公布日:20101229
2011-02-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101037125606 IPC(主分类):H01L 21/311 专利申请号:2009100538121 申请日:20090625

共 50 条

[1]

一种干法刻蚀方法 [P].

汪之涵 ;

和巍巍 ;

温正欣 .

中国专利 :CN118507343A ,2024-08-16

[2]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[3]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[4]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[5]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

[6]

干法刻蚀方法 [P].

吴智勇 ;

邱华军 .

中国专利 :CN102693911A ,2012-09-26

[7]

干法刻蚀方法 [P].

吴贤丰 ;

延宇豪 ;

邱山峰 ;

孙磊 .

中国专利 :CN119038485A ,2024-11-29

[8]

干法刻蚀设备 [P].

杨伟杰 ;

孟凡顺 ;

刘志攀 .

中国专利 :CN217444341U ,2022-09-16

[9]

干法刻蚀方法 [P].

吴智勇 ;

荆泉 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN109727857B ,2019-05-07

[10]

干法刻蚀方法 [P].

崔红星 ;

代大全 ;

吕睿 ;

李大勇 .

中国专利 :CN101211751A ,2008-07-02

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